地 址：大連保稅區(qū)海航路9號
標(biāo)題：荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列
主要產(chǎn)品
SparkNano的主要產(chǎn)品包括空間原子層沉積系統(tǒng)，具體有：
SparkNano LabLine™
SparkNano Omega™
SparkNano Vellum™
荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列產(chǎn)品介紹：
荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列
產(chǎn)品介紹
SparkNano LabLine™是一種用于研究和開發(fā)的空間原子層沉積系統(tǒng)，支持多種基板類型和工藝過程。系統(tǒng)采用空間原子層沉積技術(shù)，通過將前驅(qū)體和共反應(yīng)物在空間上分離，實(shí)現(xiàn)薄膜的逐層沉積。
技術(shù)參數(shù)包括：
基板類型：平面和多孔基板，如晶圓、玻璃、金屬和聚合物箔
前驅(qū)體和共反應(yīng)物：標(biāo)準(zhǔn)配置最多四個前驅(qū)體連接，共反應(yīng)物包括H?O，可選等離子體（如O?、H?、O?）
樣品面積：最大420 mm x 300 mm
沉積溫度：熱S-ALD為50°C–250°C，等離子體增強(qiáng)S-ALD為50°C–200°C
基板加載：手動，通過兩個前室（一小一大）
系統(tǒng)尺寸：4.0米（寬）x 3.6米（深）x 2.1米（高）
荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列優(yōu)勢特點(diǎn)
? 系統(tǒng)具有較高的沉積速度，適應(yīng)快速研發(fā)需求。
? 可處理多種基板類型，包括平面和多孔材料。
? 系統(tǒng)配置靈活，支持多種前驅(qū)體和共反應(yīng)物選項(xiàng)。
? 從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)的過渡較為順暢，支持規(guī)?；瘮U(kuò)展。
荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列主要應(yīng)用：
荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統(tǒng)Nano產(chǎn)品系列
太陽能電池
氫能技術(shù)
顯示器件
電池制造
