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      Renishaw光柵尺介紹
      更新時(shí)間:2025-12-23   點(diǎn)擊次數(shù):203次

      一、光柵尺:精密運(yùn)動(dòng)的“眼睛"

      光柵尺是一種基于光學(xué)干涉原理的線性或角度位移傳感器,它通過(guò)監(jiān)測(cè)光柵條紋的移動(dòng)來(lái)測(cè)量位置變化,為運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)提供實(shí)時(shí)、高分辨率的位置反饋。與傳統(tǒng)的磁性或電容式編碼器相比,光學(xué)光柵尺通常具有更高的精度、分辨率和穩(wěn)定性。

      Renishaw在這一領(lǐng)域深耕數(shù)十年,其產(chǎn)品線覆蓋了從經(jīng)濟(jì)型增量式光柵到式光柵、從封閉式到敞開(kāi)式、從納米級(jí)到超長(zhǎng)行程的全系列解決方案。

      二、Renishaw光柵尺的核心技術(shù)特點(diǎn)

      1. 創(chuàng)新的光學(xué)設(shè)計(jì)與信號(hào)處理
      Renishaw的許多光柵尺采用其的干涉式光學(xué)系統(tǒng)。以的RG系列為例,它利用衍射光柵產(chǎn)生的干涉條紋來(lái)實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量。這種設(shè)計(jì)對(duì)光柵刻劃誤差具有平均效應(yīng),即使光柵本身存在微小缺陷,系統(tǒng)也能通過(guò)多光束干涉獲得穩(wěn)定的信號(hào),從而實(shí)現(xiàn)亞微米甚至納米級(jí)的測(cè)量精度。

      2. 獨(dú)特的位置技術(shù)(ATOM系列)
      與傳統(tǒng)增量式光柵需要回零操作不同,Renishaw的式光柵尺(如ATOM系列)在通電瞬間即可確定位置。其核心在于光柵尺上包含增量軌道和軌道。軌道采用偽隨機(jī)碼排列,每個(gè)位置都有編碼,如同“光學(xué)條形碼"。這一技術(shù)極大簡(jiǎn)化了系統(tǒng)設(shè)置,提高了設(shè)備啟動(dòng)效率與可靠性。

      3. 堅(jiān)固的環(huán)境適應(yīng)性
      工業(yè)環(huán)境充滿挑戰(zhàn):油污、冷卻液、震動(dòng)、溫度波動(dòng)都是精密傳感器的“天敵"。Renishaw通過(guò)多層防護(hù)技術(shù)應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn):

      • 密封設(shè)計(jì):封閉式光柵尺(如RGS系列)采用全密封結(jié)構(gòu),IP防護(hù)等級(jí)可達(dá)IP64,能有效阻擋粉塵和液體侵入。

      • 抗污染光學(xué)系統(tǒng):敞開(kāi)式光柵尺(如TONiC系列)采用的光學(xué)濾波和信號(hào)處理算法,即使光柵表面有少量油污或灰塵,仍能保持穩(wěn)定讀數(shù)。

      • 低熱膨脹系數(shù)材料:光柵載體采用零膨脹玻璃或特殊合金,確保在寬溫范圍內(nèi)保持尺寸穩(wěn)定性。

      4. 高速高分辨率電子系統(tǒng)
      Renishaw的光柵讀數(shù)頭內(nèi)置高速信號(hào)處理電路,能夠?qū)崟r(shí)處理光學(xué)信號(hào)。其的QUANTiC系列讀數(shù)頭支持速度高達(dá)20 m/s,分辨率可達(dá)1 nm,且電子細(xì)分誤差極小,為高速高精運(yùn)動(dòng)控制提供了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

      三、Renishaw光柵尺的典型產(chǎn)品系列與應(yīng)用

      1. 封閉式光柵尺(如RGS系列)

      • 特點(diǎn):全密封、高防護(hù)、安裝相對(duì)簡(jiǎn)單

      • 應(yīng)用:數(shù)控機(jī)床(加工中心、車床)、精密測(cè)量機(jī)、自動(dòng)化生產(chǎn)線

      • 優(yōu)勢(shì):在惡劣機(jī)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定可靠的性能,適合大多數(shù)工業(yè)場(chǎng)景

      2. 敞開(kāi)式光柵尺(如TONiC系列)

      • 特點(diǎn):超緊湊設(shè)計(jì)、超高分辨率(達(dá)1 nm)、優(yōu)異的動(dòng)態(tài)性能

      • 應(yīng)用:半導(dǎo)體制造設(shè)備(光刻機(jī)、晶圓檢測(cè))、精密定位平臺(tái)、醫(yī)療設(shè)備

      • 優(yōu)勢(shì):極低的電子細(xì)分誤差(<±30 nm),支持精度的運(yùn)動(dòng)控制

      3. 式光柵尺(如ATOM系列、RESOLUTE系列)

      • 特點(diǎn):通電即知位置、無(wú)需回零、抗干擾能力強(qiáng)

      • 應(yīng)用:多軸協(xié)作機(jī)器人、大型龍門(mén)機(jī)床、危險(xiǎn)環(huán)境設(shè)備

      • 優(yōu)勢(shì):提高設(shè)備安全性與生產(chǎn)效率,斷電后位置信息不丟失

      4. 超長(zhǎng)行程解決方案(如FORTiS系列)

      • 特點(diǎn):采用鋼帶載體,長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)十米,精度保持能力優(yōu)異

      • 應(yīng)用:大型數(shù)控機(jī)床(航空結(jié)構(gòu)件加工)、軌道交通測(cè)量、天文望遠(yuǎn)鏡

      • 優(yōu)勢(shì):解決了傳統(tǒng)剛性光柵尺在超長(zhǎng)行程中重量和熱膨脹的難題


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